《真空科学与技术学报》是中国真空学会主办，中国科学技术协会审定的国家级自然科学技术刊物。月刊，国内外公开发行。《真空科学与技术学报》创刊于1981年，是全国中文核心期刊。《真空科学与技术学报》长期被CA和SA等国际著名检索系统收录，已全文上网。 在国内，本学报被北京大学图书馆、北京高校图书馆期刊工作研究会共同确定为中文核心期刊；中国科学院文献情报中心、中国社会科学院文献信息中心、中国学术期刊（光盘版），电子杂志社和北京大学图书馆共同确定为《中国科学引文数据库》和《中国学术期刊综合评价数据库》来源期刊，《中国学术期刊（光盘版）》全文收录。 《真空科学与技术学报》报道的主要内容：真空科学与技术、薄膜物理与工艺、表面与界面物理、应用表面科学、物理电子学、电子材料及处理、纳米科学与技术、电真空技术、核真空技术及真空冶金等。